6N 超高纯度
纯度达 99.9999% 以上，金属杂质浓度控制在 ppb 级以内，满足先进制程对缺陷密度的苛刻要求。
TECHNOLOGY BACKGROUND
ALD 前驱体：精细制程的必选材料
在晶圆上制造芯片需要经过上百个工序，主要的工艺步骤包括光刻、刻蚀、掺杂、薄膜沉积等往复循环。薄膜沉积工艺中，ALD 技术即原子层沉积（Atomic Layer Deposition）是精细制程、深沟槽和立体结构中必选的工艺。
ALD 所需的前驱体多为 MO 源（金属有机源）产品，一般要求纯度达到 99.9999% 以上，杂质浓度达 ppb 级别以内，工艺复杂，需要超高的金属有机合成和高纯度提纯的能力，代表着行业最高科研能力。
- 原子级精度单原子层逐层沉积，厚度控制精确到埃级
- 三维共形性深沟槽与立体结构中均匀覆盖，台阶覆盖率优异
- 极高纯度门槛6N 纯度、ppb 级杂质，合成与提纯能力缺一不可
- 战略材料属性高端前驱体长期依赖进口，是国产替代的关键环节
APPLICATIONS
ALD 应用领域
随着泛半导体行业对微型化和集成化的要求越来越高，尺寸缩小至亚微米和纳米量级，ALD 作为一种高精度薄膜沉积技术，已渗透至半导体、能源与光学等众多领域。
ALD 在半导体领域的应用
可用于晶体管栅极电介质层（High-k 材料）、金属栅电极、有机发光显示器涂层、铜互联扩散阻挡层、DRAM 电介质层、微流体和 MEMS 涂层、传感器等众多领域。
DRAM 存储
电容 High-k（Al、Zr、Hf、Ti、Nb）、电极（Ti、Ru、Nb）、阻挡金属（Ti、Ta、Co、Ru）等关键薄膜层。
NAND 闪存
字线（Ti、W、Mo）、接触金属（W）、阻挡金属（Ta）、Box/CTN/Gox（Al、Hf、Si）等堆叠薄膜。
逻辑计算（CPU / GPU）
金属栅 High-k（Hf、Zr、Ni、Al 前驱体）、扩散阻挡层 Ti(N)/Ta(N)/Ru、双图案化硬掩膜等。
ALD 在能源领域的应用
ALD 凭借均匀成膜性、精准控制厚度和保形性等多种优势，在光伏领域中发挥着重要作用，同时可用于锂电池薄膜涂层，提高电池性能。
钙钛矿电池
- 应用
- 电子传输层、钝化保护层
- 优势
- 低温工艺、均匀成膜性、台阶覆盖率好
- 作用
- 阻隔钙钛矿与电极扩散、阻隔空气、传输电子
锂电池
- 应用
- 电极涂层
- 优势
- 保形性、无孔隙、精准控制厚度
- 作用
- 延长锂离子电池寿命、提高产品安全性
ALD 在光学领域的应用
由于 ALD 具有三维共形沉积和大面积均匀性特点，已成功应用于高质量光学薄膜、增透膜、折射率可调的光学薄膜、波状多层膜，改善了光子晶体的光学性质和可控性，增加了光子晶体在未来光学器件中的应用潜力。
PRODUCT FEATURES
ALD 前驱体产品特点
自主知识产权
产品具有自主知识产权，核心合成路线与提纯工艺自主可控，打破国外垄断。
原材料国产化
关键原材料实现国产化，保障供应链安全，交付周期稳定可控。
覆盖先进制程
高纯硅基前驱体系列、High-k 前驱体系列等百余种产品，部分新品已用于 5nm 以下制程薄膜制备。
定制合成能力
依托金属有机合成平台，可按客户工艺需求快速开发新型前驱体分子。
全流程质控
从合成、提纯到充装全程洁净控制，ICP-MS 等精密分析手段保障批次一致性。
高纯源瓶与充装
R&D & MANUFACTURING
研发与生产能力
在半导体领域，公司主要致力于高纯半导体薄膜（ALD、CVD）前驱体材料的自主研发和生产。成立以来，已陆续向多家半导体客户提供了百余种前驱体新材料，包括高纯硅基前驱体系列、High-k 前驱体系列等产品，部分新品已被客户用于 5nm 以下制程薄膜制备。
公司致力为客户提供优质的产品并建立互信、长久的合作关系，产品具有自主知识产权且原材料国产化，打破国外垄断的同时保证供应链的安全。敦茂新材料愿与国内芯片、高端显示、光伏新能源等高端客户一起携手，解决高端半导体材料的卡脖子难题，早日实现进口替代。
- 金属有机合成平台无水无氧条件下的高活性金属有机化合物合成
- 高纯提纯产线多级提纯工艺，稳定实现 6N 级产品批量交付
- 精密分析检测ICP-MS 等检测手段，ppb 级杂质定量与批次追溯
- 洁净充装体系高纯源瓶与洁净充装，保障产品运输与使用安全
ELEMENTS
元素分类
公司金属有机产品覆盖碱金属、非金属、碱土金属、主族金属、类金属、过渡金属与镧系七大类元素，点击分类可筛选查看。
标注元素为 ALD 前驱体关键元素（Si、Hf、Zr、Ti、Ta、Co、Ru、Pt 等）
ABOUT & CONTACT
关于敦茂
安徽敦茂新材料科技有限公司，专业生产各类高端金属有机产品，包括铪、锆、钯、钐等相关产品，可广泛应用于医药、半导体、石化、新材料等行业。
其中铪和锆相关产品，可广泛应用于 ALD 相关行业；钯、铑、钌等相关产品可广泛用于医药、材料领域。公司同时经营催化剂、配体、有机硅及其他精细新材料产品线，支持结构式检索与定制合成服务。
联系方式
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